Cible de pulvérisation de molybdène
Cible de pulvérisation de molybdène
Pureté : 99,95%-99,99%
Matériau : Mo pur361, MoTZM (Mo364), Mo-Lanthanoxid (ML)
La cible de pulvérisation de molybdène est un matériau de dépôt de couches minces composé de molybdène ou d'un alliage de molybdène de haute pureté. Elle présente une pureté et une densité élevées et est largement utilisée dans les semi-conducteurs, le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le dépôt physique en phase vapeur (PVD) et les domaines optiques. En tant que principal fournisseur et fabricant de produits en molybdène de qualité supérieure, Heeger Materials s'appuie sur des centres d'usinage avancés pour fournir des cibles de pulvérisation de molybdène et d'alliage de molybdène de haute précision pour une large gamme d'applications.
Ou envoyez-nous un courriel à l'adresse suivante max@heegermaterials.com.Fiche technique sur les cibles de pulvérisation de molybdène
Référence : | HMST15 |
Matériau : | Pure Mo361, MoTZM (Mo364), Mo-Lanthanoxid (ML) |
La pureté : | 99.95%-99.99% |
Densité : | 10,22 g/cm3 |
Forme : | Plat, rotatif ou personnalisé |
Collage : | Décollement ou collage |
Cible de pulvérisation de molybdène
Molybdène est un métal gris argenté dont le point de fusion est de 2623 ℃ et la densité de 10,2 g/cm.3. C'est l'un des métaux disponibles dans le commerce dont le coefficient de dilatation thermique est le plus faible. Cibles de pulvérisation de molybdène sont constituées de molybdène ou d'alliages de molybdène de haute pureté, conservant les propriétés des matériaux d'origine. HM peut fournir des cibles de pulvérisation de molybdène de haute qualité avec une technologie avancée, garantissant une grande pureté, une haute densité et une petite taille moyenne des grains.
Cible circulaire de pulvérisation de molybdène Cible de pulvérisation rotative de molybdène Cible de pulvérisation de molybdène sur mesure
Composition chimique du matériau cible de pulvérisation de molybdène
Matériau | Mo | Impuretés, (≤%) | |||||||||
Al | Ca | Fe | Mg | Ni | Si | C | N | O | La2O3 | ||
Mo1 | Bal. | 0.002 | 0.002 | 0.010 | 0.002 | 0.005 | 0.01 | 0.01 | 0.003 | 0.008 | – |
Mo2 | Bal. | 0.005 | 0.004 | 0.015 | 0.005 | 0.005 | 0.01 | 0.02 | 0.003 | 0.020 | – |
MoLa | Bal. | 0.002 | 0.002 | 0.015 | 0.005 | 0.005 | 0.01 | 0.02 | 0.005 | – | 0.1~1.8 |
Note : La teneur en O de l'alliage MoLa peut être testée en fonction des exigences du client. |
Spécifications des cibles de pulvérisation de molybdène
Type de matériau | Molybdène | Coefficient de dilatation thermique | 4,8 x 10-6/K |
Symbole | Mo | Densité théorique (g/cc) | 10.2 |
Poids atomique | 95.96 | Rapport Z | 0.257 |
Numéro atomique | 42 | Pulvérisation | DC |
Couleur/apparence | Gris, Métallique | Densité de puissance maximale (watts/pouce carré) | 150* |
Conductivité thermique | 139 W/m.K | Type d'obligation | Indium, Elastomère |
Point de fusion (°C) | 2,617 | Commentaires | Films lisses, durs. |
Dimensions des cibles de pulvérisation de molybdène en stock
Cibles de pulvérisation circulaire | Diamètre | 1.0″ 2.0″ 3.0″ 4.0″ 5.0″ 6.0″ jusqu'à 21″. |
Cibles de pulvérisation rectangulaires | Largeur x Longueur | 5″ x 12″ 5""x 15″ 5″ x 20″ 5″ x 22″ 6″ x 20″ |
Épaisseur | 0.125″, 0.25″ |
Processus de production de cibles de pulvérisation de molybdène
Généralement préparée selon la méthode de la métallurgie des poudres, la pureté de la poudre de molybdène doit être supérieure à 99,95%. Le processus spécifique est le suivant :
- Mettez le poudre de molybdène dans le four de traitement thermique sous vide pour le pré-gazage, puis introduire de l'hydrogène et continuer à chauffer pour le dégazage.
- La poudre de molybdène dégazée est frittée une fois par pressage à chaud sous vide.
- Le produit fritté primaire passe par une presse isostatique chaude pour compléter le frittage secondaire.
- Après le frittage secondaire, toute la surface du produit est rectifiée par usinage pour obtenir le produit final.
Caractéristiques des cibles de pulvérisation de molybdène
- Haute pureté: Pureté jusqu'à 99,99%
- Haute densité: Densité proche de la densité théorique de 10,22 g/cm3
- Microstructure uniforme: Garantir une érosion uniforme pendant le processus de pulvérisation cathodique
- Petite taille moyenne des grains: Assurer l'uniformité de la cible
Applications des cibles de pulvérisation de molybdène
- Fabrication de semi-conducteurs: Les cibles de pulvérisation de molybdène sont utilisées pour déposer des couches conductrices et de blindage, en particulier dans la production de circuits intégrés et de dispositifs microélectroniques.
- Écrans plats: Les cibles de pulvérisation de molybdène sont utilisées pour former des électrodes et des matériaux de câblage dans les écrans tels que les TFT-LCD (écrans à cristaux liquides à transistors à couche mince) et les OLED (diodes électroluminescentes organiques).
- Cellules solaires à couche mince: Les cibles de pulvérisation de molybdène sont utilisées dans la couche de rétroélectrode des cellules solaires à couche mince CIGS (séléniure de cuivre, d'indium et de gallium) afin d'améliorer l'efficacité et la stabilité des cellules.
- Matériel d'imagerie médicale: Les cibles de pulvérisation de molybdène sont utilisées dans les tubes à rayons X pour générer des rayons X de haute qualité et assurer la clarté et la stabilité de l'imagerie.
- Revêtement du verre: Les cibles de pulvérisation de molybdène sont utilisées pour revêtir les surfaces de verre afin d'améliorer la résistance à l'usure et à la corrosion du verre.
Emballage des cibles de pulvérisation de molybdène
La cible de pulvérisation de molybdène est soigneusement placée dans des caisses en bois ou des cartons avec un support supplémentaire en matériaux souples pour éviter tout déplacement pendant le transport. Cette méthode d'emballage garantit l'intégrité des produits tout au long du processus de livraison.
Propriétés du molybdène
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Cibles de pulvérisation cathodique Produits
Heeger Metal propose une large sélection de cibles de pulvérisation haute performance fabriquées à partir de matériaux tels que le titane, le cuivre, l'aluminium et les métaux des terres rares. Nos cibles de pulvérisation personnalisées sont conçues avec précision pour répondre aux exigences d'industries telles que la fabrication de semi-conducteurs, la photovoltaïque et l'électronique. D'une pureté et d'une consistance supérieures, nos cibles de pulvérisation offrent des performances exceptionnelles en matière de dépôt de film, ce qui les rend idéales pour les applications de revêtement de couches minces, de pulvérisation et de dépôt physique en phase vapeur (PVD).
Autres produits à base de molybdène
Nous proposons une large gamme de produits à base de molybdène et d'alliages de molybdène, des poudres aux pièces finies, avec des options de personnalisation disponibles. Veuillez consulter la liste de nos produits les plus courants.