Cátodos para sputtering de molibdeno
Cátodos para sputtering de molibdeno
Pureza: 99,95%-99,99%
Material: Mo puro361MoTZM (Mo364), Mo-Lanthanoxid (ML)
El cátodo de molibdeno para sputtering es un material de deposición de película fina, hecho de molibdeno de alta pureza o aleación de molibdeno. Presenta una alta pureza y densidad, ampliamente utilizado en semiconductores, deposición química de vapor (CVD), deposición física de vapor (PVD), y áreas ópticas. Como proveedor y fabricante líder de productos de molibdeno de primera calidad, Heeger Materials aprovecha los centros de mecanizado avanzados para suministrar cátodos para sputtering de molibdeno y aleaciones de molibdeno de alta precisión para una amplia gama de aplicaciones.
O envíenos un correo electrónico a max@heegermaterials.com.Ficha técnica del cátodo de molibdeno para sputtering
Referencia: | HMST15 |
Material: | Mo puro361MoTZM (Mo364), Mo-Lanthanoxid (ML) |
Pureza: | 99.95%-99.99% |
Densidad: | 10,22 g/cm3 |
Forma: | Plano, giratorio o personalizado |
Vinculación: | Desvinculación o vinculación |
Cátodos para sputtering de molibdeno
Molibdeno es un metal gris plateado con un punto de fusión de 2623 ℃ y una densidad de 10,2 g/cm3. Es uno de los metales comerciales con menor coeficiente de dilatación térmica. Cátodos de molibdeno para sputtering están fabricados con molibdeno o aleaciones de molibdeno de gran pureza, conservando las propiedades de los materiales de partida. HM puede suministrar cátodos para sputtering de molibdeno de alta calidad con tecnología avanzada, garantizando una alta pureza, alta densidad y un tamaño medio de grano pequeño.
Cátodos circulares de molibdeno para sputtering Blanco rotatorio para sputtering de molibdeno Cátodos para sputtering de molibdeno a medida
Composición química del material para sputtering de molibdeno
Material | Mo | Impurezas, (≤%) | |||||||||
Al | Ca | Fe | Mg | Ni | Si | C | N | O | La2O3 | ||
Mo1 | Bal. | 0.002 | 0.002 | 0.010 | 0.002 | 0.005 | 0.01 | 0.01 | 0.003 | 0.008 | – |
Mo2 | Bal. | 0.005 | 0.004 | 0.015 | 0.005 | 0.005 | 0.01 | 0.02 | 0.003 | 0.020 | – |
MoLa | Bal. | 0.002 | 0.002 | 0.015 | 0.005 | 0.005 | 0.01 | 0.02 | 0.005 | – | 0.1~1.8 |
Nota: El contenido de O de la aleación MoLa puede probarse según los requisitos del cliente. |
Especificaciones de los cátodos para sputtering de molibdeno
Tipo de material | Molibdeno | Coeficiente de dilatación térmica | 4,8 x 10-6/K |
Símbolo | Mo | Densidad teórica (g/cc) | 10.2 |
Peso atómico | 95.96 | Ratio Z | 0.257 |
Número atómico | 42 | Pulverización catódica | DC |
Color/Apariencia | Gris, metalizado | Densidad de potencia máxima (vatios/pulgada cuadrada) | 150* |
Conductividad térmica | 139 W/m.K | Tipo de bono | Indio, elastómero |
Punto de fusión (°C) | 2,617 | Comentarios | Películas suaves, duras. |
Dimensiones de los cátodos para sputtering de molibdeno
Cátodos para sputtering circular | Diámetro | 1.0″ 2.0″ 3.0″ 4.0″ 5.0″ 6.0″ hasta 21″. |
Cátodos rectangulares para sputtering | Anchura x Longitud | 5″ x 12″ 5""x 15″ 5″ x 20″ 5″ x 22″ 6″ x 20″ |
Espesor | 0.125″, 0.25″ |
Proceso de producción de cátodos para sputtering de molibdeno
Generalmente se prepara mediante el método pulvimetalúrgico, la pureza del polvo de molibdeno debe ser superior a 99,95%. El proceso específico es el siguiente:
- Ponga el molibdeno en polvo en el horno de tratamiento térmico al vacío para la pregasificación, a continuación introducir hidrógeno y continuar calentando para la desgasificación.
- El polvo de molibdeno desgasificado se sinteriza una vez mediante prensado en caliente al vacío.
- El producto sinterizado primario pasa por una prensa isostática caliente para completar la sinterización secundaria.
- Tras la sinterización secundaria, toda la superficie del producto se rectifica mediante mecanizado para obtener el producto final.
Características de los cátodos para sputtering de molibdeno
- Alta pureza: Pureza de hasta 99,99%
- Alta densidad: Densidad próxima a la densidad teórica de 10,22 g/cm3
- Microestructura uniforme: Garantizar una erosión uniforme durante el proceso de sputtering
- Granulometría media pequeña: Garantizar la uniformidad del objetivo
Aplicaciones de cátodos para sputtering de molibdeno
- Fabricación de semiconductores: Los cátodos de molibdeno para sputtering se utilizan para depositar capas conductoras y de apantallamiento, especialmente en la producción de circuitos integrados y dispositivos microelectrónicos.
- Pantallas planas: Los cátodos de molibdeno para sputtering se utilizan para formar electrodos y materiales de cableado en pantallas como las TFT-LCD (pantallas de cristal líquido con transistor de película fina) y los OLED (diodos orgánicos emisores de luz).
- Células solares de capa fina: Los cátodos de molibdeno para sputtering se utilizan en la capa de electrodo posterior de las células solares de capa fina de CIGS (seleniuro de cobre, indio y galio) para mejorar la eficiencia y la estabilidad de las células.
- Equipos médicos de diagnóstico por imagen: Los cátodos para sputtering de molibdeno se utilizan en tubos de rayos X para generar rayos X de alta calidad y garantizar la claridad y estabilidad de las imágenes.
- Revestimiento de vidrio: Los cátodos de molibdeno para sputtering se utilizan para recubrir superficies de vidrio con el fin de mejorar la resistencia al desgaste y a la corrosión del vidrio.
Embalaje de cátodos para sputtering de molibdeno
El cátodo para sputtering de molibdeno se coloca cuidadosamente en cajas de madera o cartón con soporte adicional de materiales blandos para evitar cualquier desplazamiento durante el transporte. Este método de embalaje garantiza la integridad de los productos durante todo el proceso de entrega.
Propiedades del molibdeno
Descargar
Solicitar presupuesto
Lo comprobaremos y le responderemos en 24 horas.
Cátodos para sputtering Productos
Heeger Metal ofrece una amplia selección de cátodos para sputtering de alto rendimiento fabricados con materiales como titanio, cobre, aluminio y metales de tierras raras. Nuestros cátodos para sputtering personalizados están diseñados con precisión para satisfacer las demandas de industrias como la fabricación de semiconductores, la fotovoltaica y la electrónica. Con una pureza y consistencia superiores, nuestros cátodos para sputtering ofrecen un rendimiento excepcional en la deposición de películas, lo que los hace ideales para aplicaciones de recubrimiento de películas finas, sputtering y PVD (deposición física de vapor).
Otros productos de molibdeno
Ofrecemos una amplia gama de productos de molibdeno y aleaciones de molibdeno, desde polvos hasta piezas acabadas, con opciones de personalización disponibles. Consulte la lista de nuestros productos habituales.