Cátodos para sputtering de molibdeno

Cátodos para sputtering de molibdeno

Cátodos para sputtering de molibdeno

Purity: 99.95%-99.99%

Material: Pure Mo361, MoTZM (Mo364), Mo-Lanthanoxid (ML)

  • Tamaños personalizados y estándar en stock
  • Plazo de entrega rápido
  • Precio competitivo
Clasificación por estrellas 5
Clasificación por estrellas 5
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Clasificación por estrellas 5
Clasificación por estrellas 5

Molybdenum Sputtering Target is a thin film deposition material, made of high-purity molybdenum or molybdenum alloy. It exhibits high purity and density, widely allpied in semiconductors, chemical vapor deposition (CVD), physical vapor deposition (PVD), and optical areas. As a leading supplier and manufacturer of premium molybdenum products, Heeger Materials leverages advanced machining centers to deliver high-precision molybdenum and molybdenum alloy sputtering targets for wide ranges of applications.

O envíenos un correo electrónico a max@heegermaterials.com.

Molybdenum Sputtering Target Data Sheet

Referencia:HMST15
Material:Pure Mo361, MoTZM (Mo364), Mo-Lanthanoxid (ML)
Pureza:99.95%-99.99%
Density:10.22 g/cm3
Forma:Flat, Rotary, or Customized
Bonding:Unbonding or Bonding

Cátodos para sputtering de molibdeno

Molibdeno is a silver-grey metal with a melting point of 2623 ℃ and a density of 10.2 g/cm3. It is one of the commercially available metals with the lowest coefficient of thermal expansion. Molybdenum Sputtering Targets are made of high-purity molybdenum or molybdenum alloys, retaining the properties of the source materials. HM can supply high-quality molybdenum sputtering targets with advanced technology, ensuring high purity, high density, and small average grain size.

Molybdenum Sputtering Target Material Chemical Composition

Material MoImpurities, (≤%)
AlCaFeMgNiSiCNOLa2O3
Mo1Bal.0.0020.0020.0100.0020.0050.010.010.0030.008
Mo2Bal.0.0050.0040.0150.0050.0050.010.020.0030.020
MoLaBal.0.0020.0020.0150.0050.0050.010.020.0050.1~1.8
Note: The O content of MoLa alloy can be tested according to customer requirements.

Molybdenum Sputtering Target Specifications

Material TypeMolibdenoCoefficient of Thermal Expansion4.8 x 10-6/K
SymbolMoTheoretical Density (g/cc)10.2
Atomic Weight95.96Z Ratio0.257
Atomic Number42SputterDC
Color/AppearanceGrey, MetallicMax Power Density (Watts/Square Inch)150*
Thermal Conductivity139 W/m.KType of BondIndium, Elastomer
Punto de fusión (°C)2,617CommentsFilms smooth, hard.

Molybdenum Sputtering Target Stock Dimensions

Circular Sputtering TargetsDiámetro1.0″
2.0″
3.0″
4.0″
5.0″
6.0″
up to 21″
Rectangular Sputtering TargetsWidth x Length5″ x 12″
5””x 15″
5″ x 20″
5″ x 22″
6″ x 20″
Espesor0.125″, 0.25″

Molybdenum Sputtering Target Production Process

Generally prepared using the powder metallurgy method, the purity of molybdenum powder should be above 99.95%. The specific process is as follows:

  • Put the molybdenum powder in the vacuum heat treatment furnace for pre-gassing, then introduce hydrogen and continue heating for degassing.
  • The degassed molybdenum powder is sintered once by vacuum hot pressing.
  • The primary sintered product is passed through a hot isostatic press to complete the secondary sintering.
  • After the secondary sintering, the whole surface of the product is ground by machining to get the final product.

Molybdenum Sputtering Target Features

  • High Purity: Up to 99.99% purity
  • High Density: Density close to the theoretical density of 10.22 g/cm3
  • Uniform Microstructure: Ensuring uniform erosion during the sputtering process
  • Small Average Grain Size: Ensuring the uniformity of the target

Molybdenum Sputtering Target Applications

  • Semiconductor Manufacturing: Molybdenum sputtering targets are used to deposit conductive and shielding layers, especially in producing integrated circuits and microelectronic devices.
  • Flat Panel Displays: Molybdenum sputtering targets are used to form electrodes and wiring materials in displays such as TFT-LCDs (thin-film transistor liquid crystal displays) and OLEDs (organic light-emitting diodes).
  • Thin-Film Solar Cells: Molybdenum sputtering targets are used in the back-electrode layer of CIGS (copper indium gallium selenide) thin-film solar cells to improve the efficiency and stability of the cells.
  • Medical Imaging Equipment: Molybdenum sputtering targets are used in X-ray tubes to generate high-quality X-rays and ensure the clarity and stability of imaging.
  • Glass Coating: Molybdenum sputtering targets are used for coating glass surfaces to enhance the wear resistance and corrosion resistance of glass.

Molybdenum Sputtering Target Packaging

The Molybdenum Sputtering Target is carefully placed in wooden cases or cartons with additional support from soft materials to prevent any shifting during transportation. This packaging method guarantees the integrity of the products throughout the delivery process.

Embalaje metálico

Molybdenum Properties

ArtículoValor
Número atómico42
Estructura cristalinaCúbico centrado en el cuerpo
Estructura electrónicaKr 4d⁵ 5s¹
Valencias indicadas2, 3, 4, 5, 6
Peso atómico( amu )95.94
Sección transversal de absorción de neutrones térmicos( Barns )2.65
Función de trabajo fotoeléctrico( eV )4.2
Distribución de isótopos naturales( Nº de masa /% )95/ 15.9
Distribución de isótopos naturales( Nº de masa /% )96/ 16.7
Distribución de isótopos naturales( Nº de masa /% )98/ 24.1
Distribución de isótopos naturales( Nº de masa /% )97/ 9.6
Distribución de isótopos naturales( Nº de masa /% )92/ 14.8
Distribución de isótopos naturales( Nº de masa /% )94/ 9.3
Distribución de isótopos naturales( Nº de masa /% )100/ 9.6
Radio atómico - Goldschmidt( nm )0.14
Potencial de ionización( No./eV )2/ 16.15
Potencial de ionización( No./eV )5/ 61.2
Potencial de ionización( No./eV )Jun-68
Potencial de ionización( No./eV )1/ 7.10
Potencial de ionización( No./eV )3/ 27.2
Potencial de ionización( No./eV )4/ 46.4
ArtículoValor
Material condition / TemperRecocido (blando)
Material condition / TemperNo recocido (duro)
Relación de Poisson0.293
Relación de Poisson0.293
Módulo de masa ( GPa )261.2
Módulo de masa ( GPa )261.2
Módulo de tracción( GPa )324.8
Módulo de tracción( GPa )324.8
Dureza - Vickers( kgf mm-² )250
Dureza - Vickers( kgf mm-² )200
Resistencia a la tracción( MPa )485-550
Resistencia a la tracción( MPa )620-690
Límite elástico( MPa )550
Límite elástico( MPa )415-450
ArtículoValor
Resistividad eléctrica( µOhmcm )5.7@20@20°C
Temperatura crítica de superconductividad( K )0.915
Coeficiente de temperatura( K-¹ )0.00435@0-100°C
Emf térmica contra Pt (frío 0C - caliente 100C)( mV )1.45
ArtículoValor
Boiling point( °C)4612
Densidad( gcm-³ )10.22@20°C
ArtículoValor
Melting point( °C )2617
Calor latente de evaporación( J g-¹ )6153
Calor latente de fusión( J g-¹ )290
Calor específico( J K-¹ kg-¹ )251@25°C
Conductividad térmica( W m-¹ K-¹ )138@0-100°C
Coeficiente de dilatación térmica( x10-⁶ K-¹ )5.1@0-100°C

Solicitar presupuesto

Lo comprobaremos y le responderemos en 24 horas.

To customize your molybdenum sputtering target, please provide the following details:

  1. Diámetro (for the circular sputtering targets)
  2. Width × Length (for the rectangular sputtering targets)
  3. Thcikness (for the sputtering targets)
  4. Pureza del material
  5. Backing Plate (If bonding service is required, please specify the material and dimensions of the backing plate.)
  6. Cantidad de los productos que necesita
  7. Alternativamente, puede proporcionar un dibujo con sus especificaciones.

Una vez que tengamos estos datos, podremos facilitarle un presupuesto en 24 horas.

We carry a wide variety of molybdenum and molybdenum alloy products in stock, and for these, there is generally no minimum order requirement. However, for custom orders, we typically set a minimum order value of $200. The lead time for stock items is usually 1-2 weeks, while custom orders usually take 3-4 weeks, depending on the specifics of the order.

El cumplimiento del DFARS (Defense Federal Acquisition Regulation Supplement) se refiere principalmente al aprovisionamiento de materiales para aplicaciones relacionadas con la defensa en Estados Unidos. Según el DFARS, determinados materiales utilizados en defensa deben proceder de Estados Unidos o de países que cumplan los requisitos.

Si tiene materiales de molibdeno específicos que estén sujetos al DFARS, háganoslo saber con antelación y se lo confirmaremos.

En Heeger Materials Inc. nos tomamos muy en serio esta responsabilidad. Nos adherimos a todas las leyes y reglamentos aplicables, incluida la Sección 1502 de la Ley Dodd-Frank. Nuestra empresa opera con un estricto código ético y se compromete a asociarse únicamente con proveedores que compartan nuestra dedicación al abastecimiento responsable. Apoyamos las iniciativas y programas destinados a promover cadenas de suministro "libres de conflictos" y trabajamos con diligencia para garantizar que nuestros productos cumplen estas normas.

Heeger Materials Inc, establecida en 2016 en Colorado, EE. UU., es un proveedor y fabricante especializado de tantalio y aleaciones de tántalo. Con una amplia experiencia en suministro y exportación, ofrecemos precios competitivos y soluciones personalizadas adaptadas a requisitos específicos, garantizando una calidad sobresaliente y la satisfacción del cliente. Como proveedor profesional de metales refractarios, aleaciones especiales, polvos esféricos y diversos materiales avanzados, atendemos las necesidades de investigación, desarrollo y producción industrial a gran escala de los sectores científico e industrial.

Formulario de consulta

Sputtering Targets Products

Heeger Metal offers a wide selection of high-performance sputtering targets made from materials like titanium, copper, aluminum, and rare earth metals. Our custom sputtering targets are precision-engineered to meet the demands of industries such as semiconductor manufacturing, photovoltaics, and electronics. With superior purity and consistency, our sputtering targets deliver exceptional film deposition performance, making them ideal for thin-film coating, sputtering, and PVD (Physical Vapor Deposition) applications.

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