Molybdän-Sputtering-Target
Molybdän-Sputtering-Target
Reinheit: 99,95%-99,99%
Material: Reines Mo361, MoTZM (Mo364), Mo-Lanthanoxid (ML)
Molybdän Sputtering Target ist ein Material für die Dünnschichtabscheidung, das aus hochreinem Molybdän oder einer Molybdänlegierung besteht. Es weist eine hohe Reinheit und Dichte auf und wird häufig in der Halbleiterindustrie, der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD), der physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD) und in optischen Bereichen eingesetzt. Als führender Anbieter und Hersteller von hochwertigen Molybdänprodukten nutzt Heeger Materials fortschrittliche Bearbeitungszentren, um hochpräzise Molybdän- und Molybdänlegierungs-Sputtertargets für eine Vielzahl von Anwendungen zu liefern.
Oder senden Sie uns eine E-Mail an max@heegermaterials.com.Datenblatt Molybdän Sputtering Target
Referenz: | HMST15 |
Material: | Reines Mo361, MoTZM (Mo364), Mo-Lanthanoxid (ML) |
Reinheit: | 99.95%-99.99% |
Die Dichte: | 10,22 g/cm3 |
Die Form: | Flach, rotierend oder kundenspezifisch |
Bindung: | Unbonding oder Bonding |
Molybdän-Sputtering-Target
Molybdän ist ein silbergraues Metall mit einem Schmelzpunkt von 2623 ℃ und einer Dichte von 10,2 g/cm3. Es ist eines der handelsüblichen Metalle mit dem niedrigsten Wärmeausdehnungskoeffizienten. Molybdän-Sputtering-Targets werden aus hochreinem Molybdän oder Molybdänlegierungen hergestellt, wobei die Eigenschaften der Ausgangsmaterialien erhalten bleiben. HM kann hochwertige Molybdän-Sputter-Targets mit fortschrittlicher Technologie liefern, die eine hohe Reinheit, hohe Dichte und eine kleine durchschnittliche Korngröße gewährleisten.
Kreisförmiges Molybdän-Sputtering-Target Rotierendes Molybdän-Sputtering-Target Kundenspezifisches Molybdän-Sputtering-Target
Molybdän Sputtering Target Material Chemische Zusammensetzung
Material | Mo | Verunreinigungen, (≤%) | |||||||||
Al | Ca | Fe | Mg | Ni | Si | C | N | O | La2O3 | ||
Mo1 | Bal. | 0.002 | 0.002 | 0.010 | 0.002 | 0.005 | 0.01 | 0.01 | 0.003 | 0.008 | – |
Mo2 | Bal. | 0.005 | 0.004 | 0.015 | 0.005 | 0.005 | 0.01 | 0.02 | 0.003 | 0.020 | – |
MoLa | Bal. | 0.002 | 0.002 | 0.015 | 0.005 | 0.005 | 0.01 | 0.02 | 0.005 | – | 0.1~1.8 |
Hinweis: Der O-Gehalt der MoLa-Legierung kann je nach Kundenwunsch geprüft werden. |
Spezifikationen für Molybdän-Sputter-Targets
Material Typ | Molybdän | Wärmeausdehnungskoeffizient | 4,8 x 10-6/K |
Symbol | Mo | Theoretische Dichte (g/cc) | 10.2 |
Atomares Gewicht | 95.96 | Z-Verhältnis | 0.257 |
Ordnungszahl | 42 | Sputter | DC |
Farbe/Erscheinungsbild | Grau, Metallisch | Maximale Leistungsdichte (Watt/Quadratzoll) | 150* |
Wärmeleitfähigkeit | 139 W/m.K | Art der Anleihe | Indium, Elastomer |
Schmelzpunkt (°C) | 2,617 | Kommentare | Filme glatt, hart. |
Molybdän Sputtering Target Lager Abmessungen
Zirkulare Sputtering-Targets | Durchmesser | 1.0″ 2.0″ 3.0″ 4.0″ 5.0″ 6.0″ bis zu 21″. |
Rechteckige Sputtering-Targets | Breite x Länge | 5″ x 12″ 5""x 15″ 5″ x 20″ 5″ x 22″ 6″ x 20″ |
Dicke | 0.125″, 0.25″ |
Verfahren zur Herstellung von Molybdän-Sputter-Targets
Die Reinheit des Molybdänpulvers sollte über 99,95% liegen, da es in der Regel nach dem pulvermetallurgischen Verfahren hergestellt wird. Der spezifische Prozess ist wie folgt:
- Legen Sie die Molybdänpulver im Vakuum-Wärmebehandlungsofen zur Vorbegasung, dann Wasserstoff einleiten und zur Entgasung weiter erhitzen.
- Das entgaste Molybdänpulver wird einmal durch Vakuum-Heißpressen gesintert.
- Das primäre Sinterprodukt wird zum Abschluss der sekundären Sinterung durch eine heißisostatische Presse geführt.
- Nach der sekundären Sinterung wird die gesamte Oberfläche des Produkts durch maschinelle Bearbeitung geschliffen, um das Endprodukt zu erhalten.
Molybdän Sputtering Target Merkmale
- Hohe Reinheit: Reinheit bis zu 99,99%
- Hohe Dichte: Dichte nahe der theoretischen Dichte von 10,22 g/cm3
- Gleichmäßiges Gefüge: Gewährleistung eines gleichmäßigen Abtrags während des Sputtering-Prozesses
- Klein Durchschnittliche Korngröße: Sicherstellung der Einheitlichkeit des Ziels
Molybdän Sputtering Target Anwendungen
- Herstellung von Halbleitern: Molybdän-Sputtertargets werden zur Abscheidung von Leit- und Abschirmschichten verwendet, insbesondere bei der Herstellung von integrierten Schaltungen und mikroelektronischen Geräten.
- Flachbildschirme: Molybdän-Sputter-Targets werden zur Herstellung von Elektroden und Verdrahtungsmaterialien in Displays wie TFT-LCDs (Dünnfilmtransistor-Flüssigkristallanzeigen) und OLEDs (organische Leuchtdioden) verwendet.
- Dünnschicht-Solarzellen: Molybdän-Sputter-Targets werden in der Rückseiten-Elektrodenschicht von CIGS-Dünnschicht-Solarzellen (Kupfer-Indium-Gallium-Selenid) verwendet, um den Wirkungsgrad und die Stabilität der Zellen zu verbessern.
- Medizinische Bildgebungsgeräte: Molybdän-Sputtertargets werden in Röntgenröhren verwendet, um qualitativ hochwertige Röntgenstrahlen zu erzeugen und die Klarheit und Stabilität der Bilder zu gewährleisten.
- Glasbeschichtung: Molybdän-Sputtertargets werden zur Beschichtung von Glasoberflächen verwendet, um die Verschleißfestigkeit und Korrosionsbeständigkeit von Glas zu verbessern.
Molybdän Sputtering Target Verpackung
Das Molybdän-Sputtering-Target wird sorgfältig in Holzkisten oder Kartons verpackt, die zusätzlich mit weichen Materialien gestützt werden, um ein Verrutschen während des Transports zu verhindern. Diese Verpackungsmethode garantiert die Unversehrtheit der Produkte während des gesamten Lieferprozesses.
Molybdän-Eigenschaften
Herunterladen
Angebot einholen
Wir werden das prüfen und uns innerhalb von 24 Stunden bei Ihnen melden.
Sputtering Targets Produkte
Heeger Metal bietet eine große Auswahl an Hochleistungs-Sputtertargets aus Materialien wie Titan, Kupfer, Aluminium und Seltenerdmetallen. Unsere kundenspezifischen Sputtertargets sind präzisionsgefertigt, um den Anforderungen von Branchen wie der Halbleiterherstellung, Photovoltaik und Elektronik gerecht zu werden. Dank ihrer überragenden Reinheit und Konsistenz bieten unsere Sputtertargets eine außergewöhnliche Leistung bei der Schichtabscheidung und sind damit ideal für die Dünnfilmbeschichtung, das Sputtern und PVD-Anwendungen (Physical Vapor Deposition).
Andere Molybdänprodukte
Wir bieten eine breite Palette von Molybdän- und Molybdänlegierungsprodukten an, von Pulvern bis hin zu fertigen Teilen, wobei auch kundenspezifische Anpassungen möglich sind. Bitte entnehmen Sie der Liste unsere gängigen Produkte.