Cátodos de tungsteno para sputtering
Cátodos de tungsteno para sputtering
Material: Tungsteno puro
Pureza: 99%-99,999%
El cátodo de wolframio para sputtering está fabricado con tungsteno de gran pureza. polvo de tungstenohasta 99,999%. Posee las ventajas de un alto punto de fusión, alta densidad, resistencia a la corrosión y buena estabilidad térmica. Como proveedor y fabricante líder de productos de tungsteno de primera calidad, Heeger Materials aprovecha los centros de mecanizado avanzados para suministrar cátodos para sputtering de alta precisión, fuentes de evaporación y otros materiales de deposición para una amplia gama de aplicaciones.
O envíenos un correo electrónico a max@heegermaterials.com.Hoja de datos de cátodos de wolframio para sputtering
Referencia: | HMST24 |
Material: | Tungsteno |
Pureza: | 99%, 99.9%, 99.95%, 99.99%, 99.999% |
Forma: | Disco, rectangular, giratorio o personalizado |
Vinculación: | Desvinculación o vinculación |
Cátodos de tungsteno para sputtering
Cátodos de tungsteno para sputtering es un material de deposición de alto rendimiento, ampliamente utilizado en semiconductores, deposición química en fase vapor (CVD), deposición física en fase vapor (PVD) y aplicaciones ópticas. HM puede ofrecer soluciones personalizadas y servicios de unión para satisfacer requisitos específicos.
Composición química del material para sputtering de wolframio
W (>%) | Contenido químico (<%) | |||||||||||
99.999 W1 | Fe | Ca | Sea | Sn | Al | Ni | Zn | Sb | Pt | K | Ta | Na |
0.0001 | 0.00005 | 0.000005 | 0.000005 | 0.00005 | 0.00001 | 0.00005 | 0.00005 | 0.00003 | 0.000005 | 0.0001 | 0.00005 | |
Cr | Pb | En | Mg | Ti | Bi | Mo | Cd | Cu | Ba | Co | Mn | |
0.000005 | 0.00001 | 0.00005 | 0.00005 | 0.000005 | 0.00001 | 0.00001 | 0.000005 | 0.000007 | 0.00001 | 0.000005 | 0.000005 | |
99.99 W2 | Fe | Ca | Sea | Sn | Al | Ni | Zn | Sb | Pt | K | O | Na |
0.0001 | 0.00045 | 0.0001 | 0.0001 | 0.0001 | 0.0001 | 0.0001 | 0.0001 | 0.0001 | 0.0005 | 0.0040 | 0.0009 | |
Cr | Pb | En | Mg | Ti | Bi | Mo | Cd | Cu | Ba | Co | Mn | |
0.0001 | 0.0001 | 0.0001 | 0.0001 | 0.0001 | 0.0001 | 0.0002 | 0.0001 | 0.0001 | 0.0001 | 0.0001 | 0.0001 | |
99.95 W3 | Fe | Ca | P | Sn | Al | Ni | N | Sb | Si | O | Pb | En |
0.005 | 0.003 | 0.001 | 0.0001 | 0.002 | 0.003 | 0.003 | 0.001 | 0.003 | 0.003 | 0.0001 | 0.002 | |
Mg | C | Bi | Mo | |||||||||
0.002 | 0.005 | 0.0001 | 0.001 |
Especificaciones de los cátodos de wolframio para sputtering
Tipo de material | Tungsteno | Coeficiente de dilatación térmica | 4.5 x 10-6/K |
Símbolo | W | Densidad teórica (g/cc) | 19.25 |
Peso atómico | 183.84 | Ratio Z | 0.163 |
Número atómico | 74 | Pulverización catódica | DC |
Color/Apariencia | Blanco grisáceo, Lustroso, Metálico | Densidad de potencia máxima (vatios/pulgada cuadrada) | 100* |
Conductividad térmica | 174 W/m.K | Tipo de bono | Indio, elastómero |
Punto de fusión (°C) | 3,410 | Comentarios | Forma óxidos volátiles. Las películas son duras y adherentes. |
Dimensiones de los cátodos para sputtering de wolframio
Cátodos para sputtering circular | Diámetro | 1.0″ 2.0″ 3.0″ 4.0″ 5.0″ 6.0″ hasta 21″. |
Cátodos rectangulares para sputtering | Anchura x Longitud | 5″ x 12″ 5""x 15″ 5″ x 20″ 5″ x 22″ 6″ x 20″ |
Espesor | 0.125″, 0.25″ |
Ventajas de los cátodos de wolframio para sputtering
- Cátodos para sputtering de tungsteno de alta pureza, sinterizados y fundidos hasta 99,95% y superiores.
- Prototipado rápido, pulvimetalurgia y prensado directo.
- Alta densidad, la densidad del blanco para sputtering de tungsteno después de la fundición puede ser superior a 19,1g/cm3.
- La amplia aplicación del método pulvimetalúrgico hace que el coste del blanco de wolframio sea inferior al de otros materiales de blanco, como el titanio.
- Composición y estructura uniformes, mejoran la fuerza de deflexión del blanco de tungsteno.
- El tamaño fino de las partículas, la uniformidad del grano, otros ejes, la alta concentración y la calidad del producto de revestimiento son mayores.
Proceso de producción de cátodos de wolframio para sputtering
Generalmente preparado por el método pulvimetalúrgico, la pureza de polvo de tungsteno debe estar por encima de 99,95%, y el tamaño de las partículas debe estar comprendido entre 3,2-4,2 μm. El proceso específico es el siguiente:
- Introducir el polvo de wolframio en el horno de tratamiento térmico al vacío para la pregasificación, a continuación introducir hidrógeno y continuar calentando para la desgasificación.
- El polvo de wolframio desgasificado se sinteriza una vez mediante prensado en caliente al vacío.
- El producto sinterizado primario pasa por una prensa isostática caliente para completar la sinterización secundaria.
- Tras la sinterización secundaria, toda la superficie del producto se rectifica mediante mecanizado para obtener el producto final.
Aplicaciones de cátodos de wolframio para sputtering
- Fabricación de semiconductores: En la fabricación de circuitos integrados y dispositivos microelectrónicos, los cátodos para sputtering de tungsteno se utilizan para depositar capas conductoras o de barrera mediante la tecnología de deposición física de vapor (PVD).
- Industria fotovoltaica: Los cátodos de tungsteno para sputtering se utilizan en la fabricación de paneles solares para formar capas de conversión fotovoltaica de alta eficiencia mediante recubrimiento por sputtering, mejorando la eficiencia y la estabilidad de las células solares.
- Recubrimientos duros y fabricación de herramientas: La dureza y la resistencia al desgaste del tungsteno lo convierten en un material de revestimiento de alto rendimiento. Los cátodos para sputtering de tungsteno se utilizan para producir revestimientos duros para herramientas de corte de metal, moldes, etc. con el fin de mejorar su durabilidad y resistencia al desgaste.
- Militar y aeroespacial: Las propiedades de alta densidad y alta resistencia de los cátodos de tungsteno para sputtering los hacen importantes en la fabricación de equipos de protección militar y dispositivos aeroespaciales.
- Componentes electrónicos: La alta conductividad térmica y eléctrica del cátodo de wolframio para sputtering hace que desempeñe un papel importante en el material de disipación térmica y el material de blindaje electromagnético de los dispositivos electrónicos.
Embalaje de cátodos para sputtering de tungsteno
El cátodo para sputtering de tungsteno se coloca cuidadosamente en cajas de madera o cartón, con soporte adicional de materiales blandos, para evitar que se desplace durante el transporte. Este método de embalaje garantiza la integridad de los productos durante todo el proceso de entrega.
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Otros productos de tungsteno
Heeger Metal ofrece una amplia gama de productos de wolframio y aleaciones de wolframiodesde polvos hasta componentes acabados, con opciones de personalización disponibles. Conocidos por su extraordinaria resistencia, alto punto de fusión y excelente resistencia al desgaste y la corrosión, estos materiales son ideales para aplicaciones aeroespaciales, electrónicas e industriales. Nuestra tungsteno de gran pureza garantiza una durabilidad y un rendimiento excepcionales incluso en las condiciones más extremas.
Cátodos para sputtering Productos
Heeger Metal ofrece una amplia selección de cátodos para sputtering de alto rendimiento fabricados con materiales como titanio, cobre, aluminio y metales de tierras raras. Nuestros cátodos para sputtering personalizados están diseñados con precisión para satisfacer las demandas de industrias como la fabricación de semiconductores, la fotovoltaica y la electrónica. Con una pureza y consistencia superiores, nuestros cátodos para sputtering ofrecen un rendimiento excepcional en la deposición de películas, lo que los hace ideales para aplicaciones de recubrimiento de películas finas, sputtering y PVD (deposición física de vapor).
Productos de disco
Heeger Metal ofrece una amplia gama de productos de discos metálicos y de aleación. Nuestros discos diseñados con precisión son ideales para aplicaciones en los sectores aeroespacial, electrónico e industrial, ya que proporcionan una excelente resistencia, durabilidad y conductividad térmica. Tanto si necesita discos metálicos a medida como discos metálicos de aleación estándar, nuestros productos garantizan un alto rendimiento y una calidad excepcional.