Cátodos para sputtering de tántalo
Cátodos para sputtering de tántalo
Pureza: 99,9%, 99,95%, 99,99%, 99,999%
Material: R05200, R05400
Tántalo Los cátodos para sputtering se fabrican a partir de material de tántalo de gran pureza mediante procesamiento a presión, ofreciendo una alta pureza química, un tamaño de grano fino, una buena estructura recristalizada y una excelente consistencia en los tres ejes. Como proveedor y fabricante líder de productos de tántalo de primera calidad, Heeger Materials aprovecha los centros de mecanizado avanzados para suministrar cátodos para sputtering de tántalo de alta precisión para una amplia gama de aplicaciones.
O envíenos un correo electrónico a max@heegermaterials.com.Hoja de datos de cátodos de tántalo para sputtering
Referencia: | HMST22 |
Dimensiones: | Espesor: 0.125″-0.25″ Cátodos para sputtering circular: 1,0″-21″ (diámetro), o personalizado. Cátodos rectangulares para sputtering: 5″×12″, 5″×15″, 5″×20″, 5″×22″, 6″×20″, o personalizado. |
Material: | R05200, R05400 |
Pureza: | 99.9%, 99.95%, 99.99%, 99.999% |
Formularios: | Blanco plano, blanco giratorio o formas personalizadas |
Vinculación: | Vinculación o desvinculación |
Especificaciones del tántalo (Ta)
El tántalo está clasificado como metal de transición en la Tabla Periódica y se considera uno de los metales refractarios altamente resistentes a la corrosión. Por su excelente resistencia a la corrosión y su estabilidad térmica, el tántalo se utiliza mucho en electrónica, industria aeroespacial e ingeniería química, sobre todo en la fabricación de componentes electrónicos, reactores químicos y semiconductores.
Tipo de material | Tántalo | Coeficiente de dilatación térmica | 6,3 x 10-6/K |
Símbolo | Ta | Densidad teórica (g/cc) | 16.6 |
Peso atómico | 180.94788 | Ratio Z | 0.262 |
Número atómico | 73 | Pulverización catódica | DC |
Color/Apariencia | Azul grisáceo, metalizado | Densidad de potencia máxima (vatios/pulgada cuadrada) | 50* |
Conductividad térmica | 57 W/m.K | Tipo de bono | Indio, elastómero |
Punto de fusión (°C) | 3,017 | Comentarios | Forma buenas películas. |
Dimensiones de los cátodos para sputtering de tántalo
Los cátodos para sputtering de tántalo se fabrican con tolerancias precisas para satisfacer los requisitos de aplicaciones específicas. HM también ofrece servicios de unión, con la posibilidad de personalizar las dimensiones y formas en función de las especificaciones del cliente. Las dimensiones habituales son las siguientes
Cátodos para sputtering circular | Diámetro | 1.0" 2.0" 3.0" 4.0" 5.0" 6.0" hasta 21 |
Cátodos rectangulares para sputtering | Anchura x Longitud | 5" x 12" 5" x 15" 5" x 20" 5" x 22" 6" x 20" |
Espesor | 0.125", 0.25" |
Composición química del material para sputtering de tántalo
Elemento | R05200 (%,Max) | R05400 (%,Max) |
C | 0.01 | 0.01 |
O | 0.015 | 0.03 |
N | 0.01 | 0.01 |
H | 0.0015 | 0.0015 |
Fe | 0.01 | 0.01 |
Mo | 0.02 | 0.02 |
Nb | 0.1 | 0.1 |
Ni | 0.01 | 0.01 |
Si | 0.005 | 0.005 |
Ti | 0.01 | 0.01 |
W | 0.05 | 0.05 |
Proceso de fabricación de cátodos de tántalo para sputtering
El proceso de fabricación consiste en sinterizar polvo de tántalo en bloques y fundirlos en lingotes mediante un haz de electrones de alto vacío. Estos lingotes se someten a repetidas deformaciones plásticas y recocido para producir blancos con una estructura de grano uniforme, que luego se sueldan a placas posteriores y se mecanizan para obtener el producto final para el sputtering de semiconductores. Este es el proceso de producción típico:
- Sinterización
- Fusión por haz de electrones en vacío
- Deformación plástica
- Recocido
- Inspección metalográfica
- Mecanizado
- Inspección dimensional
- Limpieza
- Inspección final
Aplicaciones de cátodos de tántalo para sputtering
El cátodo para sputtering de tántalo, a menudo denominado cátodo desnudo, se suelda primero a una placa de soporte de cobre. A continuación se utiliza en procesos de sputtering óptico o de semiconductores, en los que los átomos de tántalo se depositan como óxidos sobre un sustrato para formar un recubrimiento por sputtering. Las principales aplicaciones son:
-
Electrónica y semiconductores: Los cátodos de tántalo se utilizan ampliamente como capas de barrera en la fabricación de circuitos integrados (CI), especialmente en la tecnología de interconexión de cobre. El alto punto de fusión y la baja resistencia del tántalo lo convierten en la opción ideal para estas aplicaciones.
-
Revestimientos anticorrosión: Debido a su excepcional resistencia a la corrosión, el tántalo se utiliza con frecuencia para recubrir equipos químicos y superficies metálicas expuestas a entornos agresivos, contribuyendo a prolongar la vida útil de estos materiales.
-
Películas finas para óptica y fotónica: Los cátodos de tántalo se emplean para crear películas finas con propiedades ópticas específicas para su uso en diversos dispositivos ópticos, pantallas y sensores.
-
Productos sanitarios: Gracias a su excelente biocompatibilidad, el tántalo se utiliza para recubrir implantes médicos como placas óseas y prótesis articulares, reduciendo el riesgo de rechazo por el organismo.
Tántalo y aleaciones de tántalo
- R05200, tántalo no aleado, fundido en horno de haz electrónico y arco de vacío, o ambos
- R05400, tántalo no aleado, consolidación pulvimetalúrgica.
- R05255, aleación de tántalo, 90 % de tántalo, 10 % de wolframio, horno de haz de electrones de fusión de arco en vacío, o ambos.
- R05252, aleación de tántalo, 97,5 % de tántalo, 2,5 % de wolframio, fundido en horno de haz de electrones o de arco en vacío, o ambos.
- R05240, aleación de tántalo, 60 % de tántalo, 40 % de niobio, horno de haz de electrones o fusión por arco en vacío.
Embalaje de cátodos para sputtering de tántalo
El cátodo para sputtering de tántalo se coloca cuidadosamente en cajas de madera o cartón, con soporte adicional de materiales blandos, para evitar que se desplace durante el transporte. Este método de embalaje garantiza la integridad de los productos durante todo el proceso de entrega.
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Otros productos de tántalo
Heeger Metal ofrece una amplia gama de productos de tantalio y aleaciones de tantalioson conocidos por su extraordinaria resistencia a la corrosión, su alto punto de fusión y su estabilidad en entornos difíciles. Estas características los hacen ideales para aplicaciones exigentes en las industrias aeroespacial, electrónica y de procesamiento químico. Nuestra materiales de tántalo de gran pureza ofrecen un rendimiento y una fiabilidad excepcionales en condiciones difíciles.
Cátodos para sputtering Productos
Heeger Metal ofrece una amplia selección de cátodos para sputtering de alto rendimiento fabricados con materiales como titanio, cobre, aluminio y metales de tierras raras. Nuestros cátodos para sputtering personalizados están diseñados con precisión para satisfacer las demandas de industrias como la fabricación de semiconductores, la fotovoltaica y la electrónica. Con una pureza y consistencia superiores, nuestros cátodos para sputtering ofrecen un rendimiento excepcional en la deposición de películas, lo que los hace ideales para aplicaciones de recubrimiento de películas finas, sputtering y PVD (deposición física de vapor).
Productos de disco
Heeger Metal ofrece una amplia gama de productos de discos metálicos y de aleación. Nuestros discos diseñados con precisión son ideales para aplicaciones en los sectores aeroespacial, electrónico e industrial, ya que proporcionan una excelente resistencia, durabilidad y conductividad térmica. Tanto si necesita discos metálicos a medida como discos metálicos de aleación estándar, nuestros productos garantizan un alto rendimiento y una calidad excepcional.